成果简介：

三维微纳形貌测量仪基于白光干涉扫描原理，以光波长作为测量基准，利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法，实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构，由此获得待测物体三维形貌、表面纹理、微观尺寸等各类外观参数测量结果。

该仪器适用于玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC 封装、材料分析与微表面研究等各种材料与微组件表面特征和微尺寸的检测。并具有较高灵活性，可根据用户需求，对系统进行改进，满足工业不同应用场景需求。 

技术参数：

光源：LED

CCD 分辨率：2040×1080

调焦方式：自动

纵向扫描范围：4mm

纵向扫描速度:15μm/s

倾斜调整范围：2°

纵向分辨率：VSI：0.5nm，PSI：0.1nm

横向分辨率：650nm（20 倍物镜）

台阶测量重复性：1nm

XY 样品台行程：100mm×100mm（手动）

Z 轴行程：50mm（自动）

重量：50Kg

外形尺寸：550mm×380mm×680mm

数据传输接口：USB 3.0

三维微纳形貌测量仪实物图：